美國MEMS傳感器專利申請量占全球MEMS傳感器專利總申請量的55%;其次是中國、德國、韓國,專利申請量占比分別約為14%、6%、5%。
“審中”狀態(tài),專利總量約8500項,占全球MEMS傳感器專利總量的70%。“有效”狀態(tài)和“PCT制定期內(nèi)”的MEMS傳感器專利數(shù)量約為3340項、275項,分別占比28%,2%。?