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概述
調(diào)研大綱

行業(yè)概述

目前能實(shí)現(xiàn)納米級(jí)制造(加工),并已經(jīng)商業(yè)化或正在商業(yè)化技術(shù)路徑的大類包括深紫外光刻、納米壓印、電子束加工(電能最終轉(zhuǎn)化為熱能)、離子束加工(電能轉(zhuǎn)化為動(dòng)能,離子刻蝕、離子鍍膜和離子注入),主要制造(加工)平面結(jié)構(gòu)(例如集成電路、膜材等)。即使通過輔助工藝手段(如選擇性刻蝕、熱回流),也只能獲得2.5D結(jié)構(gòu)(如金字塔結(jié)構(gòu)、微針結(jié)構(gòu)、微透鏡結(jié)構(gòu)等)。而微納 3D 打印這一大類別的技術(shù)路徑(廣義概念也包括基于光聚合成型的灰度光刻)在復(fù)雜3D微納結(jié)構(gòu)、高深寬比微納結(jié)構(gòu)以及復(fù)合材料3D微納結(jié)構(gòu)制造方面都具有很大的潛能和突出優(yōu)勢(shì),而且還具有設(shè)備簡(jiǎn)單、效率高、用材廣泛、無需掩?;蚰>咧苯映尚偷葍?yōu)點(diǎn)。

微納3D打印技術(shù)現(xiàn)狀

從基本技術(shù)原理和工藝上劃分,微納 3D 打印可細(xì)分為微立體光刻(Micro Stereo Lithography, MSL/mSL或Masked Stereo Lithography Apparatus, MSLA) 、微激光燒結(jié)(MSLS) 、熔融沉積造型(Fused Deposition Modeling, FDM)、片材層壓(Laminated Object Manufacturing, LOM) 、雙光子聚合(Two-Photon Polymerization, TPP)、直寫成型技術(shù)(Direct Ink Writing, DIW) 、電噴?。‥lectro hydrodynamic jet printing, E-jet)、電化學(xué)沉積(Electrochemical Fabrication, EFAB)等技術(shù)路徑小類別。

微納3D打印技術(shù)涉及材料、物理、機(jī)械領(lǐng)域中多因素、多層次的極端復(fù)雜系統(tǒng),在此條件下,應(yīng)結(jié)合大數(shù)據(jù)和人工智能技術(shù)來研究這一極端復(fù)雜系統(tǒng),在打印制造的多功能集成優(yōu)化設(shè)計(jì)原理和方法上實(shí)現(xiàn)突破,發(fā)展形、性主動(dòng)可控的智能微納3D打印技術(shù);同時(shí),應(yīng)重視其與材料、軟件、人工智能、機(jī)械工程等的交叉研究,挖掘其在光子學(xué)、微光子學(xué)、微流道、生命科學(xué)、微納科技等領(lǐng)域,尤其是在生物醫(yī)學(xué)和納米科技等領(lǐng)域的巨大潛能。智能化微納3D打印技術(shù)和裝備的發(fā)展有望帶動(dòng)未來增材制造技術(shù)的發(fā)展,提升3D打印技術(shù)應(yīng)用的可靠性,創(chuàng)造出顛覆性的新結(jié)構(gòu)和新功能器件,更好地支撐國家及國防制造能力的提升。

目前全球商用的生產(chǎn)微納打印系統(tǒng)(設(shè)備+材料)公司包括Nanoscribe、Boston Micro Fabrication(即摩方精密)、Microlight3D、UpNano(與Cubicure合作)、Heidelberg Instruments等基于光聚合成型技術(shù)的公司;此外還包括Nano Dimension(PCB打?。?、3D Micro Print(微激光燒結(jié))、Nano Fabrica(已被Nano Dimension收購)、Exaddon(電化學(xué)沉積)、Cytosurge(微流控+原子力顯微鏡)、Fluicell(微流控)等非光聚合成型技術(shù)路徑的微打印公司。

光聚合成型的微納3D打印代表性公司如下:

1. Nanoscribe
Nanoscribe成立于2007年,總部位于德國卡爾斯魯厄,擁有卡爾斯魯厄理工學(xué)院(KIT)的技術(shù)背景和卡爾蔡司公司的支持。經(jīng)過十幾年的不斷研究和成長,Nanoscribe已成為微納米生產(chǎn)的先驅(qū)和3D打印市場(chǎng)的領(lǐng)導(dǎo)者,推動(dòng)著諸如力學(xué)超材料,微納機(jī)器人,再生醫(yī)學(xué)工程,微光學(xué)等創(chuàng)新領(lǐng)域的研究和發(fā)展,并提供優(yōu)化制程方案。Nanoscribe將年?duì)I業(yè)額的25%投入到未來的微納制造技術(shù)的研發(fā)。其在全球擁有超過70位高素質(zhì)的員工,致力于雙光子聚合技術(shù)的研發(fā)制造與售后服務(wù)事業(yè)。提供整套硬件,軟件,打印材料和工藝技術(shù)一站式服務(wù),以協(xié)助用戶實(shí)現(xiàn)復(fù)雜三維微納米結(jié)構(gòu)加工的需求。遍布全球30多個(gè)國家,超過2000名用戶正在使用Nanoscribe的產(chǎn)品。包括多所全球前十頂尖大學(xué),例如哈佛大學(xué),斯坦福大學(xué),加州理工學(xué)院,牛津大學(xué),倫敦帝國理工學(xué)院,蘇黎世聯(lián)邦理工學(xué)院等等。2021年,Nanoscribe被瑞典3D生物打印設(shè)備商CELLINK公司以5000萬歐元估值收購,收購后維持獨(dú)立運(yùn)營。

2. Microlight3D
Microlight3D成立于2016年,總部位于法國,是一家生產(chǎn)用于工業(yè)和科學(xué)應(yīng)用的高分辨率微尺度2D和3D打印系統(tǒng)的專業(yè)制造商。MicroFAB-3D光刻機(jī)是該公司于2019年推出的第一臺(tái)緊湊臺(tái)式雙光子聚合系統(tǒng),一經(jīng)推出便得到客戶的廣泛好評(píng)。MicroFAB-3D基于雙光子聚合激光直寫技術(shù),可在各種光敏材料上制造出最小尺寸可達(dá)67nm的二維和三維特征結(jié)構(gòu),兼容各種聚合物,包括生物兼容性材料、醫(yī)用樹脂和生物材料,為微流控、微光學(xué)、細(xì)胞培養(yǎng)、微機(jī)器人或人造材料領(lǐng)域開辟了新的前景。

3. 摩方精密
重慶摩方精密科技股份有限公司(BMF Precision Tech Inc.),精密增材制造量身定做。其nanoArch®系列3D打印設(shè)備采用面投影微立體光刻(PμSL: Projection Micro Stereolithography)技術(shù),是目前行業(yè)極少能實(shí)現(xiàn)超高打印精度、高公差加工能力的3D打印系統(tǒng)。PμSL技術(shù)使用高精度紫外光刻投影系統(tǒng),將需打印模型分層投影至樹脂液面,快速微立體成型,從數(shù)字模型直接加工三維復(fù)雜工業(yè)樣件。該技術(shù)具有成型效率高、加工成本低等突出優(yōu)勢(shì),被認(rèn)為是目前最具有前景的微尺度加工技術(shù)之一。作為高精密增材制造領(lǐng)域的企業(yè),摩方公司已和眾多全球知名企業(yè)開展業(yè)務(wù)合作,包括GE醫(yī)療、美國強(qiáng)生、日本電裝、安費(fèi)諾、泰科電子等,產(chǎn)品廣泛應(yīng)用在連接器、精密醫(yī)療器械、消費(fèi)電子、精密加工等行業(yè)。作為微納3D打印的先行者,在三維復(fù)雜結(jié)構(gòu)微加工領(lǐng)域,摩方團(tuán)隊(duì)擁有超過二十年的科研及工程實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)。針對(duì)客戶在新產(chǎn)品開發(fā)中可能出現(xiàn)的工藝和材料難題,我們將持續(xù)提供簡(jiǎn)易高效的技術(shù)支持方案。摩方自主研發(fā)的3D打印系統(tǒng)也已被北京大學(xué)、浙江大學(xué)、北航、中石油、英國諾丁漢、德國德累斯頓理工、新加坡南洋理工等眾多全球高校和科研機(jī)構(gòu)所使用。

4. 魔技科技
魔技納米科技有限公司是三維微納制造領(lǐng)域集研發(fā)、生產(chǎn)、銷售、服務(wù)于一體的高新技術(shù)企業(yè)。核心研發(fā)團(tuán)隊(duì)擁有12年以上超快激光三維加工設(shè)備研發(fā)經(jīng)驗(yàn),致力打造具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的超穩(wěn)定納米級(jí)三維激光光刻直寫制造系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)加工精度達(dá)70納米的三維加工能力,提供集先進(jìn)光學(xué)系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、整機(jī)設(shè)計(jì)于一體的光機(jī)電系統(tǒng)完整技術(shù)方案。深入生物醫(yī)療、光電通信、新材料、微納器件等多個(gè)產(chǎn)業(yè)應(yīng)用領(lǐng)域,并擁有應(yīng)用于多行業(yè)場(chǎng)景的成熟加工工藝??啥ㄖ蒲邪l(fā)適配各產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域生產(chǎn)需求的個(gè)性化設(shè)備和產(chǎn)品,突破生物制藥、傳感、光電芯片、超材料等領(lǐng)域從科研到工業(yè)生產(chǎn)的屏障,將納米級(jí)制造精度和大范圍生產(chǎn)相結(jié)合,提供針對(duì)精密智造領(lǐng)域的整套專業(yè)解決方案。

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